光学镀膜机成膜控制系统介绍

光学镀膜机成膜控制系统介绍

　光学镀膜机成膜控制系统：

　　目前，胶片监控有很多应用，包括视觉监控、定值监控、晶体振荡监控、时间监控等。主要介绍了三种视觉监控方式：恒定监控和晶体振荡监控。

　　视觉监控又称直接监控，即采用眼睛监控，因为在胶片生长过程中，由于受到干扰现象的影响，会出现颜色变化。我们根据颜色的变化来控制薄膜的厚度。这种方法有误差，所以不太准确，需要依靠经验。

　　定值监测：主要采用反射（透明）光学监测。值监测法：当膜厚增加时，反射率和透射率会发生变化。当反射率或透射率达到值点时，我们可以知道涂层的光学厚度nd是监测波长（in）的四分之一的整数倍。光学镀膜机的值法误差较大，因为当反射率或透射率在值附近变化很慢时，即膜厚nd增加很多时，R/T会发生变化。位置是八分之一波长。

　　定值监测法：该方法中，停止点不在监测波长的四分之一波长位置，然后由计算机计算出该波长某一时刻总膜厚的反射率（或透射率），即停止点。

　　晶体振荡监测：

　　石英晶体振动的工作原理是：石英晶体的振动频率与其质量成反比。但石英监测存在一个缺点，即当膜厚增加到一定厚度时，由于石英本身的特性，振动频率与膜厚之间并非完全线性关系，因此采用了一种新的石英振荡板。

　　光学镀膜机的几种监测方法各有优缺点，但通常多层镀膜时，光学监测会以石英晶体振荡为主。

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