发表时间: 2022-09-21 15:45:29
作者: 青州市中拓镀膜机械科技有限公司
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光学镀膜机成膜控制系统:
目前,胶片监控有很多应用,包括视觉监控、定值监控、晶体振荡监控、时间监控等。主要介绍了三种视觉监控方式:恒定监控和晶体振荡监控。
视觉监控又称直接监控,即采用眼睛监控,因为在胶片生长过程中,由于受到干扰现象的影响,会出现颜色变化。我们根据颜色的变化来控制薄膜的厚度。这种方法有误差,所以不太准确,需要依靠经验。
定值监测:主要采用反射(透明)光学监测。值监测法:当膜厚增加时,反射率和透射率会发生变化。当反射率或透射率达到值点时,我们可以知道涂层的光学厚度nd是监测波长(in)的四分之一的整数倍。光学镀膜机的值法误差较大,因为当反射率或透射率在值附近变化很慢时,即膜厚nd增加很多时,R/T会发生变化。位置是八分之一波长。
定值监测法:该方法中,停止点不在监测波长的四分之一波长位置,然后由计算机计算出该波长某一时刻总膜厚的反射率(或透射率),即停止点。
晶体振荡监测:
石英晶体振动的工作原理是:石英晶体的振动频率与其质量成反比。但石英监测存在一个缺点,即当膜厚增加到一定厚度时,由于石英本身的特性,振动频率与膜厚之间并非完全线性关系,因此采用了一种新的石英振荡板。
光学镀膜机的几种监测方法各有优缺点,但通常多层镀膜时,光学监测会以石英晶体振荡为主。
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