真空镀膜机原理和各部件分析

真空镀膜机原理和各部件分析

　真空镀膜机是广泛用于生产真空条件的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。

　　1、 真空体-真空室根据加工产品的要求而变化，真空室的尺寸也不同。目前，广泛使用的是1、3M、0、9m、1、5m、1、8m等。腔体由不锈钢“target=_blank>不锈钢材料制成，要求无锈且坚固。真空室的每个部分都配有连接阀，以连接每个泵。

　　2、 辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机真空系统的重要组成部分，由机械泵、增压泵和油扩散泵组成。该排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气过程如下：机械泵首先将真空室泵送至小于2.0*10-2Pa的低真空状态，这为扩散泵的后续真空泵送提供了先决条件。然后，当扩散泵泵送真空室时，机械泵和油扩散泵形成串联，以这种方式完成泵送操作。

　　机械泵：又称前级泵，机械泵是一种应用广泛的低真空泵。它使用油来保持密封效果，并依靠机械方法不断改变泵中吸入腔的体积，从而使泵送容器中的气体体积不断膨胀以获得真空。

　　1.机械泵的分类：机械泵有多种类型，包括滑阀式（多用于大型设备）、活塞往复式、固定板式和旋转板式（目前广泛使用）。

　　2.机械泵从大气中工作，其参数包括真空和泵送速率，为机械泵的设计和选择提供了重要依据。单级泵可将容器从大气中泵送至1.0*10-1pa的真空，两级机械泵可将该容器从大气泵送至6.7*10-2Pa，甚至更高。空气抽取率是指叶片泵在额定转数下运行时每单位时间可排出的气体体积。可通过以下公式计算：sth=2nvs=2nfsl FS表示吸入结束时空腔的横截面积，l表示空腔的长度，系数表示转子每转有两个排气过程，vs表示转子处于水平位置时，吸入结束。此时，空腔容积大，速度为n。机械泵的排气效果也与电机转速和皮带松紧度有关。当电机皮带相对松动，电机转速非常慢时，机械泵的排气效果也会恶化。因此，需要定期维护和现场检查。机械泵油的密封效果也需要定期抽查。如果油太少，则无法达到密封效果。泵内会有空气泄漏，油过多，吸入孔会堵塞，因此无法吸入和排出，一般情况下，油位应在线下0或5cm。

　　3.机械泵通常用于泵出干燥空气，但不能泵出含氧量高的爆炸性和腐蚀性气体。机械泵通常用于泵出气体，但对水和气体没有很好的效果，因此不能泵出水和气体。旋转叶片泵的部件有定子、转子、弹片等。转子位于定子内部，但与定子不同。它就像两个内接圆。两个弹片安装在转子槽中，弹簧安装在两个弹丸的中间，以确保弹片与定子内壁紧密相连。

　　真空镀膜机原理和各部件分析就给大家讲解到这里了，希望能对大家有所帮助。