真空镀膜机的介绍

真空镀膜机的介绍

　一、真空镀膜机冷却配套冷水机的作用
　镀膜机冷水机组的作用是维持镀膜机的温度，从而达到比较高的精度、***率的温度控制的目的。以往，在没有冷水机组的情况下，自然水和冷却塔不可避免地受到自然温度的影响，这种控制方法比较不稳定。因此，可以说冷水机组是真空镀膜设备中比较重要的配套冷却设备，因为冷水机组的好坏直接关系到镀膜机的工作效果。
　　二、为什么真空镀膜机要配备冷水机？
　　这应从真空镀膜的工作原理来看：薄膜材料在高温下蒸发，在工件表面结晶。由于空气对蒸发膜分子的阻力，晶体会变得粗糙和暗淡，因此比较在高真空下才能使晶体细腻明亮。如果真空度不高，晶体就会失去光泽，结合力也很差。
　　冷水机组设有制冷系统和冷却水循环系统。水温可在5℃范围内调节控制℃ ~ 30℃. 实现了比较高的精度、***率的温度控制。冷却原理是：冷却系统将水冷却，然后水泵将低温冷却水送至镀膜机冷却。冷水机组的冷冻水带走热量，然后温度上升并返回水箱，以达到冷却效果。
　　三、真空镀膜机的使用步骤
　　1） 水泵及气源
　　2） 打开主电源
　　3） 打开维持泵、真空计电源，将真空表调到V1，待值小于10后再进行下一步操作。大约需要五分钟。
　　4） 打开机械泵，预抽，打开涡轮分子泵电源，启动，将真空表开关切换到V2位置，抽至2以下，约20分钟。
　　5） 待涡轮分子泵读数达到250后，关闭预抽，打开前置机和高压阀继续抽真空。抽真空到需要程度后，打开右侧的高真空表，观察真空度。真空度达到2× 10-3后，枪就可以通电了。

　　四、电子枪电源柜操作
　　1） 打开主电源
　　2） 同时打开电子枪控制I和电子枪控制II的电源：按下电子枪控制I的电源和延时开关，延时、电源和保护灯亮。三分钟后，延时灯和保护灯将熄灭。如果后门未关闭或水流继电器故障，保护灯将亮起。
　　3） 打开高压，高压将达到10kV以上，束流可调节到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流为1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
　　停机顺序
　　1） 关闭高真空计和分子泵。
　　2） 当分子泵显示50时，依次关闭高阀、前级和机械泵，大约需要40分钟。
　　3） 低于50时，关闭检修泵。